TOVÁBBI INFORMÁCIÓK

medias termékválaszték- és tanácsadó rendszer

Görgős egységekKUVE (golyósorsós egységek)
 
KAPCSOLAT
Alkalmazások

Litográfia

Nagy pontosságú golyós vezetékek koordinátaasztalokhoz

Ahhoz, hogy a struktúrákat fel lehessen vinni a chipekre, ez utóbbiakat különleges, fényérzékeny fotólakkal vonják be. A fotólakkot aztán egy maszkon keresztül megvilágítják, és ahol fény éri, ott szétbomlik.

A következő generációs félvezetőgyártásban 60 nm alatti struktúraméretekre törekszenek, hogy nagyobb memóriasűrűséget és kapcsolási sebességeket lehessen elérni.

A koordinátaasztalok lineáris motorhajtásai mozgatják a szubsztrátumot és az átvilágító maszkot. A gép alapját egy stabil, rezgéscsillapított gránit ágy és egy nagypontosságú vezeték alkotja, pl. az INA RUE sorozatú görgős egysége. Ezt a rendkívül csendes vezetéket egyenletes futási és előtolási ellenállás jellemzi, hogy nagy ismétlési pontossággal legyenek elvégezhetők a pozícionálások.